Thin Film (2) 썸네일형 리스트형 진공을 만드는 기술을 알아보자 (1) 여러분은 반도체 장비를 사용해본 적이 있으신가요? 반도체 장비는 미세화 공정의 끝을 달리는 기술을 다루는 만큼 그 조건 또한 매우 까다롭습니다. 나노 단위의 공정을 진행함에 따라 나노 단위의 오염물질, 공기 입자 수 등의 사소한 외인에도 큰 변화가 발생할 수 있습니다.그 중, 증착 장비는 bottom up 방식을 취하고있어, 증착 과정에서의 불순물을 최소화하고, 에너지를 가진채 wafer에 도달하게 해야하므로, 조건을 맞추어주는 것이 아주 중요한 장비중 하나입니다. (자세한 정보는 deposition 카테고리에서 다루겠습니다.) 정말 까다롭죠... 오늘은 그 까다로운 조건 중 하나인 진공을 잡는 기술에 대해 소개를 드리려합니다! 여기서 다루는 기술은 비단 반도체 산업 뿐 아니라 진공을 요하는 산업 전반에.. 진공을 만드는 기술을 알아보자! (2) 여러분 안녕하세요. 오늘은 저번 포스팅에 이어서 vacuum을 형성할 수 있는 pump의 종류와 그 원리에 대해 알아보겠습니다!오늘 pump에 대해 설명하면서 지난 포스팅에서 설명한 단어들을 쭉 사용할 예정이니 꼭 이전 포스팅을 보신 후에 오시길 부탁드릴게요! 먼저 pump는 만들고자하는 진공도에 따라서 분류할 수 있고, pumping 방식에 따라서도 분류할 수 있습니다.진공도 Rough pumpRotary oil sealed mechanical pumpRoots pumpVenturi pump Booster pumpHigh vacuum pumpDiffusion pump Cryo pumpTurbomolecular pumpUltra high vacuum pumpSputter ion pump 방식 가스 배출식.. 이전 1 다음